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一·設備用途:
主要用于LED行業的藍寶石晶體制備。
二·設備特點:
本設備采用分體模塊化設計,立式底出料結構,爐體,真空系統,電控系統分別模塊化式設計,現場三大模塊按照平面布置圖拼接組合起來,不用每樣都分別拆分組裝,安裝方便快捷,***整潔大方。
三·主要技術參數
1.**加熱溫度: 1800℃
2.功率: 80Kw±10%單相整流
2.冷態極限真空度: ≤5×10E-**a
3.壓升率: ≤2Pa/h
4.爐體尺寸: Ф750×1065mm(直徑×高)
5·工作尺寸: Ф320×300
6.測溫系統: 熱電偶
7.控溫精度: ±0.1℃,采用歐陸溫控儀表
8.加熱區: 一區
9.坩堝升降參數: 位移行程 400mm
慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)精度±0.01mm
快速升降50-200mm/min(伺服控制)
10.底出料參數: 位移行程 850mm
升降速度100-1000mm/min
11·爐內充氣壓力: ≤0.05MPa
12·充放氣系統: 兩路(一路采用電磁閥充放氣,一路預留充放氣接口)
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